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高純氣體的純度檢測通常通過氣相色譜法、質譜法、紅外光譜法、電化學法等進行。其中,氣相色譜法是的方法,它通過將氣體樣品通過色譜柱,然后通過檢測器檢測出各組分的濃度,從而計算出氣體的純度。質譜法則通過測量氣體樣品的質量比,來確定其純度。紅外光譜法則是通過測量氣體樣品的紅外吸收譜,來確定其純度。電化學法則是通過測量氣體樣品在電極上的電化學反應,來確定其純度。
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